真空閥門 – 常州曉士光電科技有限公司 http://www.antaida.cn Fri, 07 Aug 2020 03:45:06 +0000 zh-CN hourly 1 https://wordpress.org/?v=5.4.16 VTEX:True L-Motion Gate Valve電動(dòng)門閥 http://www.antaida.cn/index.php/2020/08/07/true-l-motion-gate-valve/ http://www.antaida.cn/index.php/2020/08/07/true-l-motion-gate-valve/#respond Fri, 07 Aug 2020 03:45:06 +0000 http://www.antaida.cn/?p=159 漏率[Pam3/s] : 閥框4.0X10-11,閥板1.3X10-10;

使用溫度 :閥框90 [℃] ,閥板60 [℃]

開(kāi)閉時(shí)間:1.2±0.2 [s],Port size336*50

材質(zhì):A5052鋁鎂合金,F(xiàn)KM密封件

壽命:300萬(wàn)次,震動(dòng)/粉塵接近于零

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VTEX:T-Motion Gate Valve http://www.antaida.cn/index.php/2020/08/07/t-motion-gate-valve/ http://www.antaida.cn/index.php/2020/08/07/t-motion-gate-valve/#respond Fri, 07 Aug 2020 03:45:06 +0000 http://www.antaida.cn/?p=160 ?適用于FPD基板 G6~G11,搭載VTEX獨(dú)創(chuàng)控制單元,開(kāi)閉時(shí)間:4.0[s],參考開(kāi)口高度250[mm];材質(zhì):鋁合金,F(xiàn)KM密封件;壽命:100萬(wàn)次,低價(jià)、低震動(dòng)、低發(fā)塵。

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插板閥|ROLLCAM閥|擺閥|角閥等 http://www.antaida.cn/index.php/2020/08/07/rollcam%e9%98%80%e7%ad%89/ http://www.antaida.cn/index.php/2020/08/07/rollcam%e9%98%80%e7%ad%89/#respond Fri, 07 Aug 2020 03:45:06 +0000 http://www.antaida.cn/?p=161 1.插板閥:半導(dǎo)體、FPD、OLED行業(yè)設(shè)備用,低震動(dòng)、低噪音、低PARTICLE;

 

2.小型ROLLCAM閥:尺寸NW40-50;

3.擺閥:分IPV,3PV,APC三種類型,用于真空泵-腔室之間的門閥或用于控制壓力;

4.流量控制閥:采用MOTOR控制,從而最大程度的抑制腔內(nèi)PARTICLE問(wèn)題;

5.角閥:高真空設(shè)備用角閥,通過(guò)采用焊接波紋管來(lái)達(dá)到低震動(dòng)、低噪音、低發(fā)塵的功效。

 

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